相對(duì)濕度的影響：環(huán)氧乙烷需要溶解于水才能向微生物穿透，而它與微生物蛋白質(zhì)的烷基化反應(yīng)更是需要適當(dāng)?shù)乃鳛榻橘|(zhì)。因此，當(dāng)水份低于臨界水平（一般認(rèn)為是相對(duì)濕度30%）時(shí)，環(huán)氧乙烷難以發(fā)揮滅菌作用。但是，如果水份太多，勢必造成環(huán)氧乙烷被稀釋和水解，也可能阻礙環(huán)氧乙烷穿透到產(chǎn)品表面，從而減慢其滅菌過程，另外過多的濕氣也會(huì)損害產(chǎn)品性能，增加冷凝水的產(chǎn)生。環(huán)氧乙烷的滅菌作用效果與滅菌物品的相對(duì)濕度是密切相關(guān)的。實(shí)驗(yàn)表明，用小容器對(duì)小物品進(jìn)行滅菌時(shí)，以30~50%的相對(duì)濕度為宜；對(duì)大件物品，則以60~80%的相對(duì)濕度為宜。

濃度的影響：在一定濃度的范圍內(nèi)，增加環(huán)氧乙烷滅菌濃度，可提高滅菌效果，縮短滅菌時(shí)間，但濃度增加到一定程度時(shí)，這種作用效果就會(huì)明顯降低。

有人用抗環(huán)氧乙烷強(qiáng)的枯草桿菌黑色變種芽胞，用不同濃度的環(huán)氧乙烷氣體進(jìn)行試驗(yàn)，試驗(yàn)溫度為54.6℃。試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，在400mg/L的濃度以下，濃度影響明顯，400mg/L濃度以上，濃度的效果下降。所以，滅菌的環(huán)氧乙烷濃度不能低于400mg/L。常用的環(huán)氧乙烷濃度是400mg/L--800mg/L，AAMI TIR16 推薦濃度是400mg/L--650mg/L。

環(huán)氧乙烷加入滅菌器后，擴(kuò)散至裝載內(nèi)的產(chǎn)品內(nèi)，尤其是一些復(fù)雜結(jié)構(gòu)的醫(yī)療器械，譬如管路很長，孔徑很細(xì)，敷料的折疊層數(shù)很多，都將大大降低環(huán)氧乙烷的擴(kuò)散，而深度真空將有利于環(huán)氧乙烷進(jìn)入產(chǎn)品內(nèi)部。

滅菌器內(nèi)循環(huán)風(fēng)機(jī)將有利于環(huán)氧乙烷的擴(kuò)散和均勻，應(yīng)盡量采用。